XTV超高真空定位台 |
概述 |
XTV系列是采用D系列真空步进电机以及特殊导轨,螺杆、精密研磨的消间隙螺母,真空兼容的材料以及特殊传动装置。机械零部件由国内生产并且组装而成,可根据要求定制;可真空1x10~5pa,高低温-40°C~+80°C,辐射1x106Gy环境中使用 |
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特征 |
■ 行程范围为25至600mm
■ 分辨率10μm
■ 小外形
■ 负载能力达到50kg
■ 可直接堆叠用于XYZ
■ 适合在1x10-7mBar以下使用
■ 工作温度:-40℃至+80℃
■ 耐辐射总剂量至1x106Gy版本
■ 可选限位开关或光学编码器
■ 可根据具体要求进行定制 |
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描述 |
性能 |
单位 |
XTV |
行程 |
mm |
25/50/100/150/200/250/300/350/400/450/500/550/600 |
整步分辨率 |
μm |
10 |
最大速度 |
mm/s |
10 |
推荐真空环境中速度 |
mm/s |
2 |
分辨率 |
μm |
2 |
额定中心承载能力 |
kg |
50 |
负载惯性 |
Nm |
<20 |
轴向力@500Hz,1A相电流 |
kg |
10 |
转动、俯仰、偏载(空载) |
μrad |
<25 |
直线度 |
μm |
<1.3μm/100mm |
工作温度 |
℃ |
-40至+80 |
MTBF(5kg负载和30%工作循环) |
hrs |
10000 |
适用真空度 |
mBar |
1 x 10-10
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耐辐射总剂量 |
Gy |
1 x 106 |
润滑方式 |
- |
超高真空润滑脂/固体润滑(DLC工艺) |
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尺寸 |
XTV42-50
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XTV57-50
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