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XTV超高真空定位台
概述
XTV系列是采用D系列真空步进电机以及特殊导轨,螺杆、精密研磨的消间隙螺母,真空兼容的材料以及特殊传动装置。机械零部件由国内生产并且组装而成,可根据要求定制;可真空1x10~5pa,高低温-40°C~+80°C,辐射1x106Gy环境中使用
 
特征
■ 行程范围为25至600mm
■ 分辨率10μm
■ 小外形
■ 负载能力达到50kg
■ 可直接堆叠用于XYZ
■ 适合在1x10-7mBar以下使用
■ 工作温度:-40℃至+80℃
■ 耐辐射总剂量至1x106Gy版本
■ 可选限位开关或光学编码器
■ 可根据具体要求进行定制
 
描述
性能 单位 XTV
行程 mm 25/50/100/150/200/250/300/350/400/450/500/550/600
整步分辨率 μm 10
最大速度 mm/s 10
推荐真空环境中速度 mm/s 2
分辨率 μm 2
额定中心承载能力 kg 50
负载惯性 Nm <20
轴向力@500Hz,1A相电流 kg 10
转动、俯仰、偏载(空载) μrad <25
直线度 μm <1.3μm/100mm
工作温度 -40至+80
MTBF(5kg负载和30%工作循环) hrs 10000
适用真空度 mBar 1 x 10-10

耐辐射总剂量 Gy 1 x 106
润滑方式 - 超高真空润滑脂/固体润滑(DLC工艺)
 
尺寸
XTV42-50

 
XTV57-50

 
 
 

产品样本
用户手册
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

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