| VSM超高真空定位台 |
| 概述 |
英国AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射位移台-VSM系列具有很高的刚性和精度，使用特殊专利性处理的交叉滚子导轨，非常适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、超高真空电机、超高真空兼容的材料以及特殊传动装置-间隙可忽略不计从而达到平滑精密运动。可以直接搭建XYZ）可根据要求定制；
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| 特征 |
■ 行程范围为25至200mm
■ 分辨率1μm或5μm
■ 可忽略的间隙
■ 小外形
■ 负载能力达到50kg
■ 可直接堆叠用于XYZ
■ 适合在1x10-10mBar以下使用
■ 烘烤温度至200°C
■ “V”形滚柱导向轴承运动
■ 菱形校正丝杠和配套螺母
■ 耐辐射总剂量至1x106Gy版本
■ 可选限位开关或光学编码器
■ 可根据具体要求进行定制 |
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| 描述 |
| 性能 |
单位 |
VSM17 |
| 行程 |
mm |
25/50/100/150/200 |
| 整步分辨率 |
μm |
5 |
1 |
| 最大速度 |
mm/s |
15 |
4 |
| 推荐真空环境中速度 |
mm/s |
2 |
0.8 |
| 分辨率 |
μm |
1 |
0.2 |
| 额定中心承载能力 |
kg |
50 |
| 负载惯性 |
Nm |
＜20 |
| 轴向力@500Hz，1A相电流 |
kg |
3 |
10 |
| 间隙（采用消隙螺母 |
μm |
忽略不计 |
| 转动、俯仰、偏载（空载） |
μrad |
＜25 |
| 转动，遵从 |
μrad/Nm |
5 |
| 俯仰、偏载，遵从 |
μrad/Nm |
2 |
| 直线度 |
μm |
＜1.3μm/100mm |
| 最大温度 |
℃ |
200（安装光电编码器时减少到120） |
| MTBF（5kg负载和30%工作循环） |
hrs |
15000 |
10000 |
| 适用真空度 |
mBar |
1x10-10
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| 耐辐射总剂量 |
Gy |
1x106 |
| 润滑方式 |
- |
超高真空润滑脂/固体润滑（DLC工艺） |
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| 尺寸 |
50mm行程尺寸图：
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