| VSM-Z耐高低温、真空、辐射定位台 |
| 概述 |
| VSM-Z金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、超高真空电机、超高真空兼容的材料以及特殊传动装置-间隙可忽略不计从而达到平滑精密运动。可以直接搭建XYZ）可根据要求定制； |
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| 特征 |
■ 适用于真空度：1x10-10mBar1×10-8Pa以下使用
■ 工作环境温度：-65/-196℃~+175℃
■ 耐辐照的总吸收剂量：1x106Gy（三项可选） |
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| 描述 |
| 性能 |
单位 |
VSM17-Z |
| 行程 |
mm |
25/50/75/100 |
| 整步分辨率 |
μm |
5 |
1 |
| 最大速度 |
mm/s |
5 |
2 |
| 真空中最大速度 |
mm/s |
2 |
1 |
| 重复定位精度 |
μm |
1 |
0.2 |
| 额定中心承载能力 |
kg |
15 |
| 间隙 |
μm |
忽略不计 |
| 直线度 |
μm |
＜1.3μm/100mm |
| 工作温度 |
℃ |
-65℃/-196℃至+175℃ |
| 真空 |
mBar |
1x10-10m |
| 耐辐射总计量 |
Gy |
1x106 |
| 烘烤温度 |
℃ |
200 |
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| 尺寸 |
50mm行程尺寸
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