TSX超高真空兼容测角仪工作台在ISO 7洁净室中采用特高压兼容材料和施工方法制造，并使用D35.1超高真空步进电机。 TSX72K0具有刚性不锈钢结构和低齿轮传动比，允许高负载能力，同时保持平稳运动通过其30度的旅行。8个安装孔定位在顶板上，允许多种安装位置和容易集成。
■ 角度范围±15° ■ 整步0.005°分辨率 ■ 最大速度25°/s ■ 用于间歇旋转 ■ 负载能力达到40kg ■ 适合在1x10-10mBar以下使用 ■ 烘烤温度至200°C
