RSX超高真空兼容旋转工作台在ISO 7洁净室中采用超高真空兼容材料和施工方法制造，并使用D35.1超高真空步进电机。
RSX3K6的特点是一个精密的十字滚子环轴承提供高旋转精度，能够在每个方向的轴承负载。它有一个18mm清晰孔径，抗隙直齿传动装置，并可以选择安装一个光学超高真空兼容的旋转编码器