■ 行程范围为25至85mm ■ 分辨率为每步1μm ■ 可忽略的间隙 ■ 微小外形 ■ 负载能力达到50kg ■ 可直接堆叠用于XYZ ■ 适合在1 x 10-10mBar以下使用 ■ 烘烤温度至200°C ■ 十字滚子轴承运动 ■ 菱形校正丝杠和配套螺母 ■ 耐辐射总剂量至1x106Gy版本 ■ 可选限位开关或光学编码器 ■ 可根据具体要求进行定制
