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LTV超高真空定位台

概述

LTV超高真空兼容线性平移台可提供长行程，最小高度可承受高达几公斤的负载。它们具有间距较大的“V”形滚柱导轨，适用于扭转负载较小的简单复合机构。它们采用超高压兼容材料和施工方法制造，并采用D系列超高压步进电机。平滑的运动由一个经过钻石校正的丝杠和一个匹配的精密搭接螺母提供，以确保良好的位置稳定性，并包含一个预加载的丝杠螺母以消除齿隙。

特征

■ 行程范围为50至400mm
■ 分辨率1μm或5μm
■ 可忽略的间隙
■ 小外形
■ 负载能力达到20kg
■ 可直接堆叠用于XYZ
■ 适合在1x10^-10mBar以下使用
■ 烘烤温度至200°C
■ “V”形滚柱导向轴承运动
■ 菱形校正丝杠和配套螺母
■ 耐辐射总剂量至1x10⁶Gy版本
■ 可选限位开关或光学编码器
■ 可根据具体要求进行定制

描述

性能	单位	LTVL	LTVH
行程	mm	50/100/150/200/250/300/350/400
整步分辨率	μm	5	1
最大速度	mm/s	15	4
推荐真空环境中速度	mm/s	2	0.8
分辨率	μm	1	0.2
额定中心承载能力	kg	20
负载惯性	Nm	＜5
轴向力@500Hz，1A相电流	kg	3	10
间隙（采用消隙螺母	μm	忽略不计
转动、俯仰、偏载（空载）	μrad	＜25
转动、俯仰、偏载，遵从	μrad/Nm	33
直线度	μm	＜1.3μm/100mm
最大温度	℃	200（安装光电编码器时减少到120）
MTBF（5kg负载和30%工作循环）	hrs	15000	10000
适用真空度	mBar	1x10^-10
耐辐射总剂量	Gy	1x10⁶
润滑方式	-	超高真空润滑脂/固体润滑（DLC工艺）
50mm行程质量	kg	1.2	1.5
每增加50mm行程质量	kg	0.35

尺寸

LTVL/标准版：

LTVL-LS/带2个限位开关：

LTVL-E/带光电编码器：

LTVH/标准版：

LTVH-LS/带2个限位开关：

LTVH-E/带光电编码器：




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