| mSR080微型有铁芯直线电机驱动定位平台 |
| 概述 |
MSR80是一个高精度，微型线性平台，包括无铁芯线性电机，集成的高分辨率反馈和精确的方形轨引导。 MSR80系列的尺寸只有80 mm宽，25 mm高。
MSR80是一种微型，高精度线性位置平台，其使用双精度级方形轨道进行引导，并使用有铁芯线性电机进行驱动。 MSR80具有非常紧凑的设计 - 测量宽度仅为80 mm，高度为25 mm。MSR80将相关的部件整合在这个微型平台上：如平台导轨，线性电机，线性编码器，限位和零位传感器 - 使其成为空间受限的应用场合-如生命科学或光学领域的电动位置平台的理想选择。同时MSR80可以轻松地配置成为多轴产品。 |
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| 特征 |
MSR80系列高精度有铁芯直线电机驱动精密双方导轨式线性定位器;标准功能及配件：
•框架宽度为80 mm
•五个标准行程，25，35，50，100和150 mm
•重复位置精度为+/- 0.1微米
•集成磁性（1.0微米），光学（1.0,0.1,0.01微米）或模拟正弦/余弦编码器选项
•最大速度为2000 mm / sec
•可选4或8极线性电机传动系统选件
•最大有效载荷78 N
•最大推力为24 N
•集成和可调零位和限位感应
•提供标准多轴配置
•具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据 |
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| 描述 |
| 参数 |
单位 |
行程 |
| 25 |
35 |
50 |
100 |
150 |
| 框架（宽x高x长） |
mm |
80x25x110 |
80x25x120 |
80x25x165 |
80x25x265 |
80x25x365 |
| 最大负载 |
Kg |
4 |
4 |
8 |
8 |
8 |
| 峰值推力 |
N |
12 |
12 |
24 |
24 |
24 |
| 连续推力 |
N |
4 |
4 |
8 |
8 |
8 |
| 加速度 |
G |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
| 标准级平面度 |
μm |
±6 |
±6 |
±8 |
±10 |
±15 |
| 精密级平面度 |
μm |
±3 |
±3 |
±4 |
±5 |
±10 |
| 滑块质量 |
Kg |
0.2365 |
0.2365 |
0.3065 |
0.4115 |
0.519 |
| 平台质量 |
Kg |
0.525 |
0.5815 |
0.7395 |
1.0665 |
1.403 |
| 磁性编码器-1微米分辨率 |
| 最大速度 |
mm/s |
1100 |
1500 |
2000 |
2000 |
2000 |
| 双向重复定位精度 |
μm |
±5.0 |
| 定位精度 |
μm |
20 |
20 |
30 |
40 |
40 |
| 1μm分辨率光栅反馈 |
| 最大速度 |
mm/s |
1100 |
1500 |
2000 |
2000 |
2000 |
| 双向重复定位精度 |
μm |
±2.0 |
| 定位精度 |
μm |
9 |
9 |
9 |
11 |
13 |
| 定位精度(矫正) |
μm |
5 |
6 |
6 |
6 |
7 |
| 0.1μm分辨率光栅反馈 |
| 最大速度 |
mm/s |
300 |
300 |
300 |
300 |
300 |
| 双向重复定位精度 |
μm |
±0.3 |
| 定位精度 |
μm |
8 |
8 |
8 |
10 |
12 |
| 定位精度(矫正) |
μm |
4 |
5 |
5 |
5 |
6 |
| 0.01μm分辨率光栅反馈 |
| 最大速度 |
mm/s |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
| 双向重复定位精度 |
μm |
±0.1 |
| 定位精度 |
μm |
8 |
8 |
8 |
10 |
12 |
| 定位精度(矫正) |
μm |
4 |
5 |
5 |
5 |
6 |
|
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