mSR100微型无铁芯直线电机驱动定位平台 |
概述 |
MSR100是一个高精度,微型线性平台,包括无铁芯线性电机,集成的高分辨率反馈和精确的方形轨引导。 MSR100系列的尺寸只有100 mm宽,35 mm高。
MSR100是一种微型,高精度线性定位器,其使用双精度级方形轨道进行引导,并使用无铁芯直线电机进行驱动。 MSR100具有非常紧凑的设计 - 测量宽度仅为100 mm,高度为35 mm。MSR100将相关的部件整合在这个微型平台上:如平台导轨,线性电机,线性编码器,可调节的限位和零位传感器 - 使其成为空间受限的应用场合-如生命科学或光学领域的直线定位器的理想选择。 同时MSR100可以轻松地配置成为多轴产品。 |
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特征 |
MSR100系列无铁芯双方导轨式直线电动位置平台;
标准功能及配件:
•框架宽度为100 mm
•标准行程从25 mm到500 mm行程
•重复位置精度为+/- 0.1微米
•集成磁性(1.0微米),光学(1.0,0.1,0.01微米),模拟正弦/余弦或BiSS-C绝对编码器选项
•最大速度为3000 mm / sec
•可选3或5极线性电机传动系统选件
•最大有效载荷117 N
•最大推力50 N
•集成和可调零位和限位感应
•提供标准多轴配置
•具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据 |
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描述 |
参数 |
单位 |
行程 |
25 |
50 |
50 |
100 |
100 |
150 |
150 |
200 |
200 |
250 |
250 |
LS |
LS |
LD |
LS |
LD |
LS |
LD |
LS |
LD |
LS |
LD |
最大负载 |
kg |
12 |
12 |
12 |
12 |
12 |
12 |
12 |
12 |
12 |
12 |
12 |
峰值推力 |
N |
33 |
33 |
50 |
33 |
50 |
33 |
50 |
33 |
50 |
33 |
50 |
连续推力 |
N |
11 |
11 |
16.7 |
11 |
16.7 |
11 |
16.7 |
11 |
16.7 |
11 |
16.7 |
动态循环 |
% |
100 |
加速度(无负载) |
G's |
3 |
标准级平面度 |
μm |
±5 |
±5 |
±5 |
±8 |
±8 |
±8 |
±8 |
±8 |
±8 |
±10 |
±10 |
精密级平面度 |
μm |
±3 |
±3 |
±3 |
±4 |
±4 |
±4 |
±4 |
±4 |
±4 |
±5 |
±5 |
滑块质量 |
kg |
0.34 |
0.34 |
0.46 |
0.34 |
0.46 |
0.34 |
0.46 |
0.34 |
0.46 |
0.34 |
0.46 |
平台质量 |
kg |
1.06 |
1.21 |
1.57 |
1.45 |
1.80 |
1.68 |
2.03 |
1.91 |
2.35 |
2.23 |
2.59 |
磁性编码器-1微米分辨率 |
最大速度 |
mm/s |
1100 |
1500 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
双向重复定位精度 |
μm |
±5.0 |
定位精度 |
μm |
40 |
40 |
40 |
80 |
80 |
80 |
80 |
100 |
100 |
100 |
100 |
光学编码器-1微米分辨率 |
最大速度 |
mm/s |
1100 |
1500 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
双向重复定位精度 |
μm |
±2.0 |
定位精度 |
μm |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
12 |
14 |
14 |
14 |
定位精度(修正后) |
μm |
6 |
6 |
6 |
6 |
6 |
7 |
7 |
7 |
7 |
8 |
8 |
光学编码器-0.1微米分辨率 |
最大速度 |
mm/s |
300 |
300 |
300 |
300 |
300 |
300 |
300 |
300 |
300 |
300 |
300 |
双向重复定位精度 |
μm |
±0.4 |
定位精度 |
μm |
9 |
9 |
9 |
9 |
9 |
9 |
9 |
11 |
11 |
13 |
13 |
定位精度(修正后) |
μm |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
6 |
6 |
6 |
6 |
7 |
7 |
光学编码器-0.01微米分辨率 |
最大速度 |
mm/s |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
双向重复定位精度 |
μm |
±0.2 |
定位精度 |
μm |
8 |
8 |
8 |
8 |
8 |
8 |
8 |
10 |
10 |
12 |
12 |
定位精度(修正后) |
μm |
4 |
4 |
4 |
4 |
4 |
5 |
5 |
5 |
5 |
6 |
6 |
BiSS-C绝对值编码器-0.05微米分辨率 |
最大速度 |
mm/s |
1100 |
1500 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
双向重复定位精度 |
μm |
±0.4 |
定位精度 |
μm |
9 |
9 |
9 |
9 |
9 |
9 |
9 |
11 |
11 |
13 |
13 |
定位精度(修正后) |
μm |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
6 |
6 |
6 |
6 |
7 |
7 |
|
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