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D系列耐高低温、真空、辐射步进电机

概述

D系列真空宇航级步进电机的清洁、组装、测试、真空密封包装都是在超高真空标准的洁净室内完成。由于专利设计，特种材料的选择，结构的改进，从而大大的减少了温升和逸气（真空环境中材料和电机内部会逸气破坏真空环境）。
其中电机表面的亚光黑色是蚀刻并镀类金刚石薄膜（DLC工艺）以增加发射率并减少逸气/脱气，其整体性能要优越纯不锈钢表面。

特征

适用于真空度：1x10^-10mBar(7.5x10^-11Torr)
烘烤温度：200°C
步进角度：1.8°
步进角公差：±5%
工作温度范围：-65°C 至+190°C
嵌入式热电偶或PT100传感器
开放式结构，所有内部空间通风
开式混合陶瓷轴承，采用NyeTorr®6300超低排气特高压润滑脂润滑
低温扩展工作温度选项，范围-196°C至+190°C
耐辐射硬版本可用1x10⁶Gy
干润滑(二硫化钨)混合氮化硅硅陶瓷轴承可供选择
可定制输出轴

典型应用

·半导体制造；
·无尘室；
·真空室；
·太空飞行
·太空实验室；
·食品设备；
·医疗设备；
·军工；
·LED和OLED晶圆生产；
·科研实验室；
·仪器仪表；
·化工分析；
·生物工程；

描述

型号	保持扭矩	惯量	最大轴向力	最大径向力	重量	电流	相电阻	相电感
	Nm	gcm2	kgf	kgf	g	A	Ω	mH
D35.1	0.075	10	9	15	190	1	4.7	3.8
D42.1	0.25	35	9	15	350	1	5.3	6.6
D42.2	0.5	68	9	15	470	1	6.8	10.5
D42.3	0.55	102	9	15	610	1	8.5	19.5
D57.1	1.0	300	13	40	700	1	10.5	27.0
D57.2	1.7	600	13	45	1380	1	10.5	30.0
指标	标准真空步进电机（D**-UHV-1）满足如下指标：
	①适用于真空度：1x10^-10mBar(7.5x10^-11Torr);
	②工作环境温度：-65°C 至+190°C;
	③烘烤温度：200℃;
	④自带“K”型热电偶
	选项**
	R-XV18**：真空辐射环境：1x10⁶Gy（总吸收剂量）；
	C-XV18**：真空超低温环境：-200°C 至+200ºC；
	P-XV18**：电机内部嵌入PT100温度传感器；
	X-XV18**：电机输出轴定制（需要提供草图）；
	H-XV18**：特殊处理的混合陶瓷轴承（固体润滑）；
	PG--V：配套真空高低温真空减速机；
	B-XV18**：配套真空高低温旋变；




	产品样本
	用户手册